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產品資料

鋰電池正負極 燒結爐CVD回轉管式爐

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產品名稱: 鋰電池正負極 燒結爐CVD回轉管式爐
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簡單介紹

為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子的活性來促進反應，因而這處CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法?？筛鶕蛻粜枨笤O計尺寸，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求，采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小，持殊結構沉積室，密封效果好，抗污能力強，多通道沉積氣路，流暢均勻，無沉積死角，沉積效果好，對沉積產生的高腐蝕性尾氣，易燃易爆氣體，固體粉塵及低熔點粘性物能進行有效處理。


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