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產品資料

鋰電池正負極 燒結爐CVD回轉管式爐

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產品名稱: 鋰電池正負極 燒結爐CVD回轉管式爐
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簡單介紹

為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子的活性來促進反應,因而這處CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法??筛鶕蛻粜枨笤O計尺寸,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求,采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍小,持殊結構沉積室,密封效果好,抗污能力強,多通道沉積氣路,流暢均勻,無沉積死角,沉積效果好,對沉積產生的高腐蝕性尾氣,易燃易爆氣體,固體粉塵及低熔點粘性物能進行有效處理。


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