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產品資料

CVD氣相沉積爐

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: CVD氣相沉積爐
產品型號: SL-CVD
產品展商: 上海金頓
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

SL-CVD是一款PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源，80mm OD1500mm L的管式爐，通道質量流量供氣系統和機械泵機組，可用于生長納米或石墨烯材料。 · 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低試驗溫度。 · *高溫度可達1200℃。 · 雙層殼體結構，并帶有風冷系統，可有效降低殼體表面溫度。 ·? 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 開門斷電，提高實驗**性。 · 客戶可根據需求選購雙溫區沉積爐。 · 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如 碳、Zno納米管或納米線及單層石墨烯等。


CVD氣相沉積爐  的詳細介紹

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