上海金頓電爐半導體快速退火爐 甲酸氣化爐

項目

名稱

內容

備注

產品名稱

（半導體）快速退火爐

主 要 技 術 參 數

內膽尺寸

寬530*深430*高220mm

外形尺寸（約）

寬 920  *深900  *高 740   mm

溫度范圍

室溫 MERGEFIELD "溫度范圍" ～+450℃可調（根據加熱板實際熱承受能力而定）

加熱方式

采用鑄鋁加熱板，

溫度波動度

≤±1℃

溫度均勻度

測溫探頭的精度為±0.5℃，控溫點在加熱板上部對角兩點及測溫的側面一點， （恒溫空載狀態下）（加熱板的溫度均勻性±1℃）

升溫速率

≤8℃/min .空載時升溫速度：室溫到200℃在8分鐘內到達；

外殼溫度

溫升不超過環境+25℃，門周邊除外。

電源

三相五線制，380V，50HZ

總功率

20KW，使用功率16KW

箱  體  結  構  特  征

外殼材料

外層A3厚2.0冷板，

內膽材料

采用5mm厚SUS304不銹鋼板制作

保溫材料

1.    采用1400型纖維毯保溫

2.    具有不可燃燒，隔熱性強等特點，厚度為60mm

煙氣隔離罩

爐體左右后三個面用亞克力板圍起來，爐體正面做對開式門，四周用玻璃膠密封，開爐時可讓煙氣有效排除。

密封材料

密封條采用直徑10mm發泡硅膠條制作，可耐溫不變形，門與內膽采用單層密封形式，加強密封效果

門

配兩個圓形觀察窗，爐門密封圈不易老化和燒壞，真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關閉（閉合傳感器，確定門關閉）可90度運動

觀察窗

采用圓形觀察窗口，觀察窗直徑80，生產過程一目了然

控制系統

加熱部分

采用導熱板加熱，帶水冷急速冷卻

冷卻部分

爐口方管及加熱板

電箱

電箱與烘箱分離安裝

抽真空

箱體抽氣口加裝電磁閥閥（帶過濾器）直徑100*180mm

氮氣部分

氮氣，需加電磁閥控制，氣管管徑直徑8mm，設備側面設有氮氣接口和甲酸接口，并用一個三通的常閉電磁閥，其后再接一個電磁閥，以控制進入腔體的氣體量，電磁閥使用方向按客戶要求進出氣方向安裝。

 溫控部分

1.    采用微電腦智能型溫控器

控制器

采用臺灣琦勝HM-782S觸摸屏，精度高，穩定性好，設有手動，自動，工業設定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,與臺灣琦勝（型號PLL-2010-002A）可編程控制器通訊控制，能控制顯示3個溫區并能階梯式程序升溫，預留3個控溫探頭

流程：合門鎖---抽真空---充氮氣---自動加熱---溫度曲線---高溫抽真空---真空泵停止---冷卻降溫---停止充氮---電子門鎖---取料完成（供方負責加工，需方負責編程設計）

溫度傳感器

擱板兩個感溫探頭預留在加熱板頂部對角處，加熱板側面配一個超溫的感溫探頭，K型探頭PID溫度控制器需使用3個臺灣琦勝溫控器，2個程序表，1個顯示表

自動恒溫

1.    溫控器可根據用戶設定的溫度值，采用PID自動計算輸出功率的大小，

2.    越接近溫度設定值時，輸出功率越小，以達到恒溫控制的目的，并可節能省電

真空度

采用數顯ZDZ-52T/E 電阻真空計，傳感器采用成都睿寶品牌，10分鐘內抽至20pa，20分鐘內漏率80pa。

電磁閥

（上海西馬特）電磁閥，1：真空擋板閥GDQ-7/KF16KF,2：截止閥（氮氣充甲酸、水、空氣GDC-A）3：壓差式充氣閥CYC-JQ

超溫報警

當實際檢測溫度超過超溫保護溫控器設定值時，自動切斷加熱電源，起到雙重保護功能

功  能

接地保護

結構件**接地保護。

電源缺相、相序保護

配有相序保護器

環境溫度

- MERGEFIELD "環境溫度" 5℃-40℃

相對濕度

≤85%RH

電源

AC380V±10%，50Hz

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