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(半導體)快速退火爐技術規格要求及參數
項目
名稱
內容
備注
產品名稱
(半導體)快速退火爐
主 要 技 術 參 數
內膽尺寸
寬530*深430*高220mm
外形尺寸(約)
寬 920 *深900 *高 740 mm
溫度范圍
室溫 MERGEFIELD "溫度范圍" ~+450℃可調(根據加熱板實際熱承受能力而定)
加熱方式
采用鑄鋁加熱板,
溫度波動度
≤±1℃
溫度均勻度
測溫探頭的精度為±0.5℃,控溫點在加熱板上部對角兩點及測溫的側面一點, (恒溫空載狀態下)(加熱板的溫度均勻性±1℃)
升溫速率
≤8℃/min .空載時升溫速度:室溫到200℃在8分鐘內到達;
外殼溫度
溫升不超過環境+25℃,門周邊除外。
電源
三相五線制,380V,50HZ
總功率
20KW,使用功率16KW
箱 體 結 構 特 征
外殼材料
外層A3厚2.0冷板,
內膽材料
采用5mm厚SUS304不銹鋼板制作
保溫材料
1. 采用1400型纖維毯保溫
2. 具有不可燃燒,隔熱性強等特點,厚度為60mm
煙氣隔離罩
爐體左右后三個面用亞克力板圍起來,爐體正面做對開式門,四周用玻璃膠密封,開爐時可讓煙氣有效排除。
密封材料
密封條采用直徑10mm發泡硅膠條制作,可耐溫不變形,門與內膽采用單層密封形式,加強密封效果
門
配兩個圓形觀察窗,爐門密封圈不易老化和燒壞,真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關閉(閉合傳感器,確定門關閉)可90度運動
觀察窗
采用圓形觀察窗口,觀察窗直徑80,生產過程一目了然
控制系統
加熱部分
采用導熱板加熱,帶水冷急速冷卻
冷卻部分
爐口方管及加熱板
電箱
電箱與烘箱分離安裝
抽真空
箱體抽氣口加裝電磁閥閥(帶過濾器)直徑100*180mm
氮氣部分
氮氣,需加電磁閥控制,氣管管徑直徑8mm,設備側面設有氮氣接口和甲酸接口,并用一個三通的常閉電磁閥,其后再接一個電磁閥,以控制進入腔體的氣體量,電磁閥使用方向按客戶要求進出氣方向安裝。
溫控部分
1. 采用微電腦智能型溫控器
控制器
采用臺灣琦勝HM-782S觸摸屏,精度高,穩定性好,設有手動,自動,工業設定等功能,配日本三菱PLC控制器(FX2N-48MR),與臺灣琦勝(型號PLL-2010-002A)可編程控制器通訊控制,能控制顯示3個溫區并能階梯式程序升溫,預留3個控溫探頭
流程:合門鎖---抽真空---充氮氣---自動加熱---溫度曲線---高溫抽真空---真空泵停止---冷卻降溫---停止充氮---電子門鎖---取料完成(供方負責加工,需方負責編程設計)
溫度傳感器
擱板兩個感溫探頭預留在加熱板頂部對角處,加熱板側面配一個超溫的感溫探頭,K型探頭PID溫度控制器需使用3個臺灣琦勝溫控器,2個程序表,1個顯示表
自動恒溫
1. 溫控器可根據用戶設定的溫度值,采用PID自動計算輸出功率的大小,
2. 越接近溫度設定值時,輸出功率越小,以達到恒溫控制的目的,并可節能省電
真空度
采用數顯ZDZ-52T/E 電阻真空計,傳感器采用成都睿寶品牌,10分鐘內抽至20pa,20分鐘內漏率80pa。
電磁閥
(上海西馬特)電磁閥,1:真空擋板閥GDQ-7/KF16KF,2:截止閥(氮氣充甲酸、水、空氣GDC-A)3:壓差式充氣閥CYC-JQ
超溫報警
當實際檢測溫度超過超溫保護溫控器設定值時,自動切斷加熱電源,起到雙重保護功能
功 能
接地保護
結構件**接地保護。
電源缺相、相序保護
配有相序保護器
環境溫度
- MERGEFIELD "環境溫度" 5℃-40℃
相對濕度
≤85%RH
AC380V±10%,50Hz
免費進行技術培訓。
上海金頓電爐有限公司
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