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真空燒結爐的應用與功能

    真空燒結爐正常工作時突然出現現停電故障,應立即打開電源控制柜確認是外部停電故障,還是設備內部電源故障。如果是外部停電故障應立即關閉總電源開關,并取下進口和出口傳送帶上的硅片。真空壓力燒結爐正常工作時突然無冷卻水,設備會自動停止運轉,同時警報被觸發。此時應取下進口和出口傳送帶上的硅片,在設備PC上下載冷卻工藝。清潔完傳送帶后設備無法開啟可以真空壓力燒結爐進口和出口處的緊急停止開關被按下,拔出緊急停止開關即可解除機械鎖定。

    另外真空燒結爐在平時的使用中要做好檢查的工作,以免在使用時不能正常地使用。

    真空燒結爐是在抽真空后充氫氣保護狀態下,利用中頻感應加熱的原理,使處于線圈內的鎢坩堝產生高溫,通過熱輻射傳導到工作上,適用于科研、**單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。

主要功能

    在抽真空后充入氫氣保護氣體,控制爐內壓力和氣氛的燒結狀態??捎霉鈱Юw維紅外輻射溫度計和鎧裝熱電偶連續測溫(0~2500℃),并通過智能控溫儀(如圖1)與設定程序相比較后,選擇執行狀態反饋給中頻電源,自動控制溫度的高低及保溫程序。

蘇公網安備 32058302001710

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